פּערט זונ צעל | אַלע וואָס איר דאַרפֿן צו וויסן
פּערט זונ צעל | אַלע וואָס איר דאַרפֿן צו וויסן
פּערט זונ - סעלז זענען העכסט רייטאַד צווישן די סופּער הויך-עפעקטיוו זונ - ענערגיע טעקנאַלאַדזשיז וואָס קענען זיין ינקאָרפּערייטיד אין מאָנאָ פאַסיאַל און בייפאַסיאַל זונ - צעל דיזיינז.
אפילו PERT זונ - סעלז זענען אַ ביסל טייַער צו פּראָדוצירן ווי זייער קאַנווענשאַנאַל סיליציום קאַונערפּאַרץ און זענען בפֿרט געניצט אין נישע ינדאַסטריז אַזאַ ווי זונ - קאַרס אָדער פּלאַץ אַפּלאַקיישאַנז, אַלע זונ - צעל מייקערז שטרעבן צו בויען און מאַרק זיי מיט אַ כוונה צו געבן הויך-סוף. און קוואַליטאַטיווע סאַלושאַנז צו זייער קאָנסומערס. ביפאַסיאַל זונ - סעלז זענען גיינינג גוואַלדיק פּאָפּולאַריטעט. אויב זיי זענען שיין פּאַזישאַנד אין אָופּאַנד מקומות אָדער פלאַך סערפאַסיז, זיי קענען אַרייַנציען ליכט און זענען ביכולת צו פּראָדוצירן עלעקטריש ענערגיע פון ביידע סערפאַסיז, ענדינג אַרויף צו 30% געוואקסן ייעלדס ווי דיין קאַנווענשאַנאַל סעלז.
PERT זונ - סעלז: ווי טאָן זיי אַרבעט?
PERT שטייט פֿאַר פּאַסיוואַטעד עמיטטער דערציען טאָוטאַלי דיפיוזד סעלז. זיי האָבן אַ דיפיוזד הינד ייבערפלאַך, וואָס איז אַ דראַסטיק יבעררוק פון די קאַנווענשאַנאַל קאַונערפּאַרץ וואָס נוצן די אַלומינום-צומיש BSF. סימפּלי שטעלן, די ימיטער פון אַ פּ-טיפּ באזירט ווייפער איז באשאפן דורך פאָספאָרוס דיפיוזשאַן, און די BSF איז אַטשיווד דורך באָראָן דאָפּינג אין פּ-פּערט.
פּערט סעלז זענען ימיון צו ליכט-ינדוסט אַבליגאַטאָרי און קענען אַקליימאַטייט צו אַ בייפאַסיאַל צעל פאָרעם. די האָבן לעצטנס פּיקט די אינטערעס פון די זונ פּוו סעקטאָר און פאָרשונג אוניווערסיטעטן. פּוו סייאַנטיס פּרוּווט אַלטערנאַטיווע צעל אַרקאַטעקטשערז צו פאַרבעסערן די עפיקאַסי פון ינדאַסטריאַלי-ניצלעך סי זונ סעלז - ספּעציעל איצט אַז די העכסט באַטייַטיק PERC סטרוקטור איז דערגרייכט די פּלאַטאָ פון זייַן פיזאַבאַל מאַכט טראַנספאָרמאַציע עפעקטיווקייַט שוועל.
אונטער נאָרמאַל פּאַראַמעטערס פון AM1.5 ספּעקטרום ביי 25 ° סעלסיוס טעמפּעראַטור, הויך-עפעקטיווקייַט פּאַסיווייטיד עמיטער; פּאַסיוואַטעד עמיטטער דערציען טאָוטאַלי דיפיוזד סעלז אַטשיווד אַן ענערגיע קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט פון וועגן 25 פּער סענט. דאָס איז די מערסט פּראַמאַסינג פיגור פון ענערגיע קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט טאָמיד רעקאָרדעד פֿאַר אַ סיליציום צעל באזירט אויף אַ ניט-FZ סיליציום סאַבסטרייט. די מילד באָראָן דיפיוזשאַן אין די צעל סטרוקטור פון די PERT צעל ניט בלויז מינערד די צעל ס סעריע קעגנשטעל אָבער אויך בוסטיד זייַן עפענען-קרייַז וואָולטידזש.
פּ-טיפּ פּערק V/S N-טיפּ פּערט
די PERC, וואָס שטייט פֿאַר פּאַסיווייטיד עמיטטער דערציען קאָנטאַקט סטרוקטור, פֿעיִקייטן אַ לאָוקאַלייזד צוריק ייבערפלאַך פעלד, וואָס איז די ערשטיק דיפערענטשיייטער צווישן אַ פּ-טיפּ פּערק און אַ n-טיפּ פּערט (BSF). די BSF איז געפֿירט בעשאַס מעטאַל קאָ-פירינג אַפּעריישאַנז דורך דאָפּינג על אין סי. דורך גרינדן הויך-נידעריק קאַנדזשאַנגקשאַן מיט די פּ-טיפּ סי באַזע ווייפער, BSF אַידז אין ימפּרוווינג זונ - צעל עפעקטיווקייַט. מינאָריטעט ראַנערז זענען ריפּעלד דורך דעם לינק, וואָס פּריווענץ זיי פון ריקאַנעקטינג אויף די סי ווייפער ס צוריק ייבערפלאַך.
די צוריק ייבערפלאַך פון אַ פּערט סטרוקטור, אויף די פאַרקערט, איז "גאָר דיפיוזד" מיט באָראָן (פּ-טיפּ) אָדער פאַספעראַס (ן-טיפּ). פּערט זונ צעל טעכנאָלאָגיע איז מערסט קאַמאַנלי געניצט אין n-טיפּ סי סעלז. דאָס איז צו נוץ פון די העכער פאָרבעראַנס צו מעטאַלליק קאַנטאַמאַניישאַן, נידעריק טעמפּעראַטור קאָואַפישאַנט און רידוסט ליכט-ינדוסט דימינישמאַנט פון n-טיפּ סי ווייפערז איבער פּ-טיפּ סי ווייפערז. ווייַל דער פאַרנעם פון אַ n-טיפּ ווייפער איז לאָודיד מיט פאַספעראַס, די ליכט-ינדוסט ברייקדאַון איז מינאַמייזד אין n-טיפּ סי, מאַשמאָעס רעכט צו נידעריקער באָראַן-זויערשטאָף פּערינגז.
טראָץ דעם, די "טאָוטאַלי דיפיוזד" BSF דאַרף די באַשעפטיקונג פון ינאַווייטיוו מעטהאָדס ווי הויך-טעמפּעראַטור POCL און BBr3 דיפיוזשאַן. ווי אַ רעזולטאַט, מאַנופאַקטורינג פּערט זונ - סעלז איז מער טייַער ווי פּערק.
אָבער, די פּאַסיוואַטעד עמיטטער דערציען טאָוטאַלי דיפיוזד די פול-שטח BSF פון סעלז קען געבן אַ מער עפעקטיוו הויך-נידעריק קנופּ פּאַסיוויישאַן רענדישאַן ווי די פּערק ס קאַנפיינד, גראָבער על-באזירט BSF. די טונעל אַקסייד פּאַסיווייטיד קאָנטאַקט (טאָפּקאָן) סטרוקטור קענען אויך זיין ינאַגרייטיד מיט n-טיפּ פּערט. עס האט די פיייקייט צו פאַסילאַטייט די פּראָדוקציע פון די מיטל אפילו מער.
רעכט צו דער סי סאַבסטרייט פעדערינג מיט עקסטענדעד מינאָריטעט לעבן און קיין באָ קאָמפּלעקס פֿאַרבונדן דערנידעריקונג, N-טיפּ סיליציום זונ - סעלז זענען סטעדאַלי רייזינג הויך אויף די פּאָפּולאַריטעט טשאַרץ. רעכט צו דער פּאַשטעס פון פּראַסעסינג, ביפאַסיאַל פּאַסיוואַטיאָן עמיטטער און PERT n-טיפּ זונ סעלז זענען העכסט עפעקטיוו סאַלושאַנז וואָס קענען זיין ינדאַסטריאַלייזד. דער דור פון P + עמיטטערס איז געווען איינער פון די נאָוטווערדי PERT טעקניקס. פֿאַר יאָרן, BBr3 דיפיוזשאַן איז געגרינדעט פֿאַר מאַסע מאַנופאַקטורינג, אָבער n-טיפּ זונ - צעל ינדאַסטריאַליזיישאַן איז כאַמפּערד דורך דאָפּאַנט כאָומאַדזשיניאַטי און פּראָצעס ינטאַגריישאַן. די קאָמבינאַציע פון באָראָן טינט ספּין קאָוטינג און POCl3 דיפיוזשאַן אין n-PERT זונ - סעלז איז געלערנט און דאַקיומענטאַד אין אַ פאָרשונג פּאַפּיר. לויט די פיינדינגז, זונ סעלז מיט אַ ביפאַסיאַטי פון מער ווי 90 פּראָצענט האָבן אַ עפעקטיווקייַט פון מער ווי 20.2 פּראָצענט.
די n-טיפּ ביפאַסיאַל פּערט זונ - צעל קענען זיין געשאפן ניצן אַ פּראָצעס לויפן וואָס כולל אַן יאָן ימפּלאַנטינג פֿאַר איין-סיידאַד דאָפּינג. עס פירט צו בוילעט עמיטטער קנופּ קוואַליטעט און קאָנסיסטענסי.
PERT זונ סעלז צושטעלן עטלעכע אַדוואַנטידזשיז, רובֿ פון וואָס זענען ליסטעד ווי אונטער:
● ניט ענלעך PERC זונ - סעלז, די פּערט ווערסיע אַטשיווז הויך עפעקטיווקייַט דורך פּאַסיוויישאַן אויף מולטי-מאַטעריאַל, ד"ה Boron BSF PERT מולטי סטעליע, מיט קיין ליכט-ינדוסט דערנידעריקונג (ליד).
● דער פּרייַז פון אָונערשיפּ איז די זעלבע ווי פֿאַר PERC סעלז.
● די פּערט שורה קען אויך זיין געוויינט פֿאַר מאָנאָ פיישאַל אָדער ביפאַסיאַל סעלז, ימפּאַרטינג עס אַ פּלאַץ פון ווערסאַטילאַטי.
PERT זונ - צעל מאַנופאַקטורינג
PERT זונ - סעלז זענען מאַניאַפאַקטשערד ניצן אַ פאַרשיידנקייַט פון ינאַווייטיוו מעטהאָדס און קאַמבאַניישאַנז צו אַפּטאַמייז אָפּשיידנדיק צעל מינים. פֿאַר מער ווי צען יאָר, נייַ קלוג טעקנאַלאַדזשיז אַזאַ ווי אַטמאָספעריק דרוק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (APCVD) סיסטעמען זענען דעדאַקייטאַד צו מאַנופאַקטורינג צו מאַכן סכוירע מיט הויך אַקסעפּטאַנס. אין אַדישאַן, ניצן די האָריזאָנטאַל רער ויוון, פאָספאָרוס עמיטטער און באָראָן בסף זענען יילדאַד אין אַ איין היץ ציקל, ריזאַלטינג אין קירצער ציקל געדויער. ווייַל פּאַסיוואַטעד עמיטטער דערציען טאָוטאַלי דיפיוזד סעלז קענען אויך זיין יוטאַלייזד אין טראדיציאנעלן צוריק-בלאַט מאַדזשולז, ריקאַנפיגיערינג די מאַנופאַקטורינג שורה צו גיין פון מאָנאָ פיישאַל צו בייפאַסיאַל פּראָדוצירן איז בלויז אַ אַרבעט פון אַ ביסל שעה.
פֿריִערדיקע ：וואָס איז אַ HJT זונ צעל?